高出力放電励起真空紫外フッ素分子レーザとその応用に関する研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: 高出力放電励起真空紫外フッ素分子レーザとその応用に関する研究
• タイトルよみ: コウシュツリョク ホウデン レイキ シンクウ シガイ フッソ ブンシ レーザ ト ソノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 欠端雅之 [著]
• 著者標目: 欠端, 雅之 カケハタ, マサユキ
• 授与機関名: 慶應義塾大学
• 授与年月日: 平成5年3月23日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1993
• 報告番号: 甲第1207号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-93-E395
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000258177; http://id.ndl.go.jp/bib/000000258177
• 整理区分コード: 213

目次

論文目録

目次

第1章 序論

1.1 真空紫外光

1.2 真空紫外光源の開発