Ge/Si・ヘテロエピタキシャル成長機構の研究
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第1章 序論
p1
1.1 はじめに
p1
1.2 本研究の概要
p3
1.3 参考文献
p5
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- Ge/Si ヘテロエピタキシャル セイチョウ キコウ ノ ケンキュウ
- 著者・編者
- 大島直樹 [著]
- 著者標目
- 大島, 直樹 オオシマ, ナオキ
- 授与機関名
- 名古屋大学
- 授与年月日
- 平成5年3月25日
- 授与年月日(W3CDTF)
- 1993
- 報告番号
- 甲第2772号
- 学位
- 博士 (工学)