GaAs結晶における注入Siイオンの活性化に関する研究
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目次
目次
p3
内容梗概
p1
第1章 緒論
p1
第2章 GaAs結晶における注入Siイオンの活性化決定の因子
p10
2.1 緒言
p10
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- GaAs ケッショウ ニ オケル チュウニュウ Si イオン ノ カッセイカ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 大久保誠一 [著]
- 著者標目
- 大久保, 誠一 オオクボ, セイイチ
- 授与機関名
- 東北大学
- 授与年月日
- 平成6年1月12日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1994
- 報告番号
- 乙第6227号
- 学位
- 博士 (工学)