局在化した電気化学反応による固体表面の微細化学修飾の研究
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要旨
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p1
序章
p1
研究の背景と目的
p1
走査型プローブ顕微鏡による微細加工の現状と本研究のアプローチ
p3
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- キョクザイカシタ デンキ カガク ハンノウ ニ ヨル コタイ ヒョウメン ノ ビサイ カガク シュウショク ノ ケンキュウ
- 著者・編者
- 杉村博之 [著]
- 授与機関名
- 大阪大学
- 授与年月日
- 平成6年6月30日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1994
- 報告番号
- 乙第6387号
- 学位
- 博士 (工学)