高光導電性非晶質シリコン系薄膜のプラズマ化学気相成長法による作製と光機能デバイスへの応用に関する研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: 高光導電性非晶質シリコン系薄膜のプラズマ化学気相成長法による作製と光機能デバイスへの応用に関する研究
• タイトルよみ: コウコウ ドウデンセイ ヒショウシツ シリコンケイ ハクマク ノ プラズマ カガク キソウ セイチョウホウ ニ ヨル サクセイ ト ヒカリ キノウ デバイス エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 秋山浩二 [著]
• 著者標目: 秋山, 浩二 アキヤマ, コウジ
• 授与機関名: 大阪府立大学
• 授与年月日: 平成7年1月30日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1995
• 報告番号: 乙第812号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-95-B278
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000280277; http://id.ndl.go.jp/bib/000000280277
• 整理区分コード: 213

目次

目次

第1章 序論

1.1 まえがき

1.2 本研究の背景

1.3 本研究の目的