プラズマ酸化とそのMISデバイスへの応用に関する研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
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p3
第1章 序論
p1
第2章 マイクロ波励起酸素プラズマによるAℓ 膜の酸化特性
p4
2.1 緒言
p4
2.2 酸化装置および方法
p6
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- プラズマ サンカ ト ソノ MIS デバイス エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 松田哲郎 [著]
- 著者標目
- 松田, 哲郎 マツダ, テツロウ
- 授与機関名
- 姫路工業大学
- 授与年月日
- 平成7年1月24日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1995
- 報告番号
- 乙第27号
- 学位
- 博士 (工学)