気相化学析出法による無機薄膜の作成とその応用
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目次
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第1章 無機薄膜と気相化学析出(CVD)法の展望
p1
1-1 緒言
p1
1-2 薄膜の特徴
p1
1-3 無機薄膜の作成法
p2
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- キソウ カガク セキシュツホウ ニ ヨル ムキ ハクマク ノ サクセイ ト ソノ オウヨウ
- 著者・編者
- 厳昇春 [著]
- 著者標目
- 厳, 昇春 イェン, スェンツゥン
- 授与機関名
- 九州大学
- 授与年月日
- 平成7年3月27日
- 授与年月日(W3CDTF)
- 1995
- 報告番号
- 甲第3520号
- 学位
- 博士 (工学)