立方晶窒化ホウ素薄膜形成に関する基礎的研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: 立方晶窒化ホウ素薄膜形成に関する基礎的研究
• タイトルよみ: リッポウショウ チッカ ホウソ ハクマク ケイセイ ニ カンスル キソテキ ケンキュウ
• 著者・編者: 渡部修一 [著]
• 著者標目: 渡部, 修一 ワタナベ, シュウイチ
• 授与機関名: 日本工業大学
• 授与年月日: 平成7年2月2日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1995
• 報告番号: 甲第4号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-95-L17
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000284750; http://id.ndl.go.jp/bib/000000284750
• 整理区分コード: 213

目次

-目次-

第1章 序論

1.本論文の構成

2.立方晶窒化ホウ素とは

3.立方晶窒化ホウ素の気相合成技術の開発現状