エッチング用RFプラズマリアクタにおけるラジカル・正負イオン種生成の診断に関する研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: エッチング用RFプラズマリアクタにおけるラジカル・正負イオン種生成の診断に関する研究
• タイトルよみ: エッチングヨウ RF プラズマ リアクタ ニ オケル ラジカル セイフ イオンシュ セイセイ ノ シンダン ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 永関一也 [著]
• 著者標目: 永関, 一也 ナガセキ, カズヤ
• 授与機関名: 山梨大学
• 授与年月日: 平成7年3月22日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1995
• 報告番号: 甲第11号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-95-P489
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000286737; http://id.ndl.go.jp/bib/000000286737
• 整理区分コード: 213

目次

-目次-

第1章 緒言

第2章 診断原理に関する理論的考察

2.1 放電で生成する粒子のモデリングによるシミュレーション

2.2 質量分析器による中性ラジカルの診断