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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
Contents
p5
Chapter
p1
1.Introduction
p1
1.1 Abstract
p1
1.2 Introduction
p2
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 作井康司 [著]
- 著者標目
- 作井, 康司 サクイ, コウジ
- 並列タイトル等
- インパクト・イオン化現象とその微細化デバイスへの応用に関する研究 インパクト イオンカ ゲンショウ ト ソノ ビサイカ デバイス エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- 授与機関名
- 東北大学
- 授与年月日
- 平成7年7月12日
- 授与年月日(W3CDTF)
- 1995
- 報告番号
- 乙第6741号
- 学位
- 博士 (工学)