Nb/Cu超伝導加速空洞のためのNbスパッタリング成膜に関する研究
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目次
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第1章 序論
p1
1-1 研究の背景
p1
1-2 Nb/Cu空洞の利点と問題点
p2
1-3 研究の目的と意義
p5
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- Nb/Cu チョウデンドウ カソク クウドウ ノ タメ ノ Nb スパッタリング セイマク ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 奥田正彦 [著]
- 著者標目
- 奥田, 正彦 オクダ, マサヒコ
- 授与機関名
- 総合研究大学院大学
- 授与年月日
- 平成7年3月23日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1995
- 報告番号
- 甲第115号
- 学位
- 博士 (工学)