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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
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p1
第1章 序論
p1
1-1.本研究の背景
p1
1-2.本研究の目的
p4
1-3.本論文の構成
p6
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- スパッタリングホウ ニ ヨル Biケイ コウオン チョウデンドウ サンカブツ ノ エピタキシャル セイチョウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 毛利存 [著]
- 著者標目
- 毛利, 存 モウリ, ゾン
- 授与機関名
- 大阪大学
- 授与年月日
- 平成8年3月25日
- 授与年月日(W3CDTF)
- 1996
- 報告番号
- 甲第5580号
- 学位
- 博士 (工学)