窒素含有炭素膜成長過程中のECRプラズマ反応場における窒素挙動
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
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第1章 緒言
p1
1-1 窒化炭素に関する最近の研究
p1
1-2 本研究の目的
p9
1-3 本論文の概要
p10
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- チッソ ガンユウ タンソマク セイチョウ カテイチュウ ノ ECR プラズマ ハンノウバ ニ オケル チッソ キョドウ
- 著者・編者
- 井上亨 [著]
- 著者標目
- 井上, 亨 イノウエ, トオル
- 授与機関名
- 長岡技術科学大学
- 授与年月日
- 平成8年3月25日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1996
- 報告番号
- 甲第119号
- 学位
- 博士 (工学)