電子サイクロトロン共鳴プラズマスパッタ法によるBa[2]NaNb[5]O[15]膜の作製と諸性質
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
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p1
第1章 緒論
p1
1.1 目的と構成
p1
1.2 予備考察
p4
第2章 実験方法
p38
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- デンシ サイクロトロン キョウメイ プラズマ スパッタホウ ニ ヨル Ba2NaNb5O15マク ノ サクセイ ト ショセイシツ
- 著者・編者
- 渡津章 [著]
- 著者標目
- 渡津, 章 ワタズ, アキラ
- 授与機関名
- 東北大学
- 授与年月日
- 平成9年3月25日
- 授与年月日(W3CDTF)
- 1997
- 報告番号
- 甲第6048号
- 学位
- 博士 (工学)