LSIにおけるAl/高融点金属積層配線の熱処理時の反応と信頼性に関する研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: LSIにおけるAl/高融点金属積層配線の熱処理時の反応と信頼性に関する研究
• タイトルよみ: LSI ニ オケル Al / コウユウテン キンゾク セキソウ ハイセン ノ ネツ ショリジ ノ ハンノウ ト シンライセイ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 関口満 [著]
• 著者標目: 関口, 満 セキグチ, ミツル
• 授与機関名: 早稲田大学
• 授与年月日: 平成9年3月6日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1997
• 報告番号: 乙第1264号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-97-J295
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000309240; http://id.ndl.go.jp/bib/000000309240
• 整理区分コード: 213

目次

目次

第1章 序論

1-1 序

1-2 Si LSI におけるAl配線技術の変遷

1-3 Al/高融点金属積層配線の問題点