イオンアシストデポジション用プラズマ陰極イオン源の試作とその応用に関する研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: イオンアシストデポジション用プラズマ陰極イオン源の試作とその応用に関する研究
• タイトルよみ: イオン アシスト デポジションヨウ プラズマ インキョク イオンゲン ノ シサク ト ソノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 渋谷猛久 [著]
• 著者標目: 渋谷, 猛久 シブヤ, タケヒサ
• 授与機関名: 東海大学
• 授与年月日: 平成9年3月24日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1997
• 報告番号: 甲第301号
• 学位: 博士 (理学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-97-L317
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000310326; http://id.ndl.go.jp/bib/000000310326
• 整理区分コード: 213

目次

目次

1 緒言

1.1 はじめに

1.2 薄膜作製法の現状

1.3 プラズマプロセス用イオン源の現状