ECRプラズマ空間構造の薄膜合成に及ぼす影響に関する研究
図書館・個人送信サービスを利用する
収録元データベースで確認する
国立国会図書館デジタルコレクション
国立国会図書館の登録利用者（本登録）の方を対象とした、個人送信サービスで閲覧可能です。ただし、日本国外に居住している場合は、個人送信サービスを利用できません。
書店で探す
障害者向け資料で読む
目次
目次
p1
第一章 序論
p1
§1.1 プラズマプロセスについて
p1
§1･2 ECRプラズマとプロセス
p2
§1･3 a-Si:H膜
p4
書店で探す
障害者向け資料で読む
- みなサーチ
- プレーンテキスト
みなサーチに登録・ログインで利用できます
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ECR プラズマ クウカン コウゾウ ノ ハクマク ゴウセイ ニ オヨボス エイキョウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 陳巍 [著]
- 著者標目
- 陳, 巍 チン, ウェイ
- 授与機関名
- 大阪大学
- 授与年月日
- 平成9年1月27日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1997
- 報告番号
- 甲第5700号
- 学位
- 博士 (工学)