インターネットで読む
すぐに読む
国立国会図書館デジタルコレクション
書店で探す
障害者向け資料で読む
目次
目次
p1
第1章 序論
p1
1-1 本研究の位置付け
p1
1-2 関連した研究の状況
p5
1-3 本研究の目的と本論文の構成ならびに超高真空プロセス装置
p9
書店で探す
障害者向け資料で読む
- プレーンテキスト
みなサーチに登録・ログインで利用できます
書誌情報
この資料の詳細や典拠(同じ主題の資料を指すキーワード、著者名)等を確認できます。
- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- チョウコウシンクウ イッカン プロセス ニ オケル カゴウブツ ハンドウタイ ノ エッチング カテイ ト サイセイチョウ カイメン ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 角屋豊 [著]
- 著者標目
- 角屋, 豊 カドヤ, ユタカ
- 授与機関名
- 東京大学
- 授与年月日
- 平成8年7月11日
- 授与年月日(W3CDTF)
- 1996
- 報告番号
- 乙第12949号
- 学位
- 博士 (工学)