微細p-n接合の高信頼化技術に関する研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: 微細p-n接合の高信頼化技術に関する研究
• タイトルよみ: ビサイ p-n セツゴウ ノ コウシンライカ ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 大湯静憲 [著]
• 著者標目: 大湯, 静憲 オオユ, キヨノリ
• 授与機関名: 東京大学
• 授与年月日: 平成9年3月17日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1997
• 報告番号: 乙第13284号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-98-R466
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000326077; http://id.ndl.go.jp/bib/000000326077
• 整理区分コード: 213

目次

要旨

目次

第1章 序論

1.1 研究の背景

1.2 微細p-n接合の現状と本研究の意義