プラズマプロセシングにおける高密度プラズマのシミュレーション法に関する研究
図書館・個人送信サービスを利用する
収録元データベースで確認する
国立国会図書館デジタルコレクション
国立国会図書館の登録利用者（本登録）の方を対象とした、個人送信サービスで閲覧可能です。ただし、日本国外に居住している場合は、個人送信サービスを利用できません。
書店で探す
障害者向け資料で読む
目次
目次
p1
1 緒論
p1
2 誘導結合プラズマのPIC/MC法による自己無憧着なシミュレーション
p9
2.1 緒言
p9
2.2 電磁場の解析
p10
書店で探す
障害者向け資料で読む
- みなサーチ
- プレーンテキスト
みなサーチに登録・ログインで利用できます
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- プラズマ プロセシング ニ オケル コウミツド プラズマ ノ シミュレーションホウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 森本保 [著]
- 著者標目
- 森本, 保 モリモト, タモツ
- 授与機関名
- 東北大学
- 授与年月日
- 平成10年3月25日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1998
- 報告番号
- 甲第6371号
- 学位
- 博士 (工学)