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目次
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第1章 序論
p1
第2章 シリコン中の深い準位の測定
p4
2-1 はじめに
p4
2-2 PHCAP測定について
p6
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトル
- タイトルよみ
- セイデン ユウドウ サイリスタ ノ コウソクカ
- 著者・編者
- 佐々木哲朗 [著]
- 著者標目
- 佐々木, 哲朗 ササキ, テツロウ
- 授与機関名
- 東北大学
- 授与年月日
- 平成10年3月25日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1998
- 報告番号
- 甲第6386号
- 学位
- 博士 (工学)