Study of electron-beam-induced reaction process and its applications to mesoscopic devices

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Study of electron-beam-induced reaction process and its applications to mesoscopic devices
• 著者・編者: 三浦成久 [著]
• 著者標目: 三浦, 成久 ミウラ, ナルヒサ
• 並列タイトル等: 電子ビーム励起堆積法の開発及びメソスコピックデバイスへの応用に関する研究 デンシ ビーム レイキ タイセキホウ ノ カイハツ オヨビ メソスコピック デバイス エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
• 授与機関名: 東京工業大学
• 授与年月日: 平成10年3月26日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1998
• 報告番号: 甲第3721号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-98-Y157
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000329656; http://id.ndl.go.jp/bib/000000329656
• 整理区分コード: 213

目次

論文目録

Table of Contents

Chapter 1 Overview and Objectives of This Research

Chapter 2 Fundamental Aspects of Nanostructure Fabrication and Mesoscopic Devices

2.1 Introduction