Basic research of the atomic force microscope for industrial use
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目次
論文目録
CONTENTS
p2
Chapter1 General introduction
p6
1-1 History of scanning probe microscopes
p7
1-2 Requirement of AFM for industrial use
p9
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 安武正敏 [著]
- 著者標目
- 安武, 正敏 ヤスタケ, マサトシ
- 並列タイトル等
- 工業用途のAFMへの基礎的研究 コウギョウ ヨウト ノ AFM エ ノ キソテキ ケンキュウ
- 授与機関名
- 東京工業大学
- 授与年月日
- 平成9年9月30日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1997
- 報告番号
- 乙第3091号
- 学位
- 博士 (工学)