高反射X線ミラーの研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: 高反射X線ミラーの研究
• タイトルよみ: コウハンシャ Xセン ミラー ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 板橋聖一 [著]
• 著者標目: 板橋, 聖一 イタバシ, セイイチ
• 授与機関名: 北海道大学
• 授与年月日: 平成10年9月30日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1998
• 報告番号: 乙第5377号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-98-Z520
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000330604; http://id.ndl.go.jp/bib/000000330604
• 整理区分コード: 213

目次

目次

第1章 ｢序論｣

1.1 はじめに

1.2 X線リソグラフィシステム概要

1.3 X線ミラーの反射率と表面粗さ