軽イオン・スパッタリングのダイナミカル・シミュレーション
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
第1章 序論
p3
1.1 スパッタリング現象とその機構
p3
1.2 スパッタリング現象の計算機シミュレーション
p5
1.3 本研究の目的とこの論文の構成
p7
第2章 ACAT-DIFFUSEコード
p10
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ケイイオン ・ スパッタリング ノ ダイナミカル ・ シミュレーション
- 著者・編者
- 剣持貴弘 [著]
- 著者標目
- 剣持, 貴弘 ケンモツ, タカヒロ
- 授与機関名
- 総合研究大学院大学
- 授与年月日
- 平成11年3月24日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1999
- 報告番号
- 甲第393号
- 学位
- 博士 (理学)