イオンビーム改質法の絶縁性材料への応用

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: イオンビーム改質法の絶縁性材料への応用
• タイトルよみ: イオン ビーム カイシツホウ ノ ゼツエンセイ ザイリョウ ヘ ノ オウヨウ
• 著者・編者: 小林知洋 [著]
• 著者標目: 小林, 知洋 コバヤシ, トモヒロ
• 数量: 冊
• 授与機関名: 東京大学
• 授与年月日: 平成11年3月17日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1999
• 報告番号: 乙第14261号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2000-B467
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000348822; http://id.ndl.go.jp/bib/000000348822
• 整理区分コード: 213

目次

目次

第1章 序論

1-1 はじめに

1-2 イオン照射による絶縁体の物性改質

1-3 本研究の目的