Si-L[2,3]線を利用した金属silicide/Si接合系試料の定量分析

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Si-L[2,3]線を利用した金属silicide/Si接合系試料の定量分析
• タイトルよみ: Si-L2 3セン オ リヨウシタ キンゾク silicide Si セツゴウケイ シリョウ ノ テイリョウ ブンセキ
• 著者・編者: 木下明将 [著]
• 著者標目: 木下, 明将 キノシタ, アキマサ
• 授与機関名: 岡山大学
• 授与年月日: 平成12年3月25日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2000
• 報告番号: 甲第2041号
• 学位: 博士 (理学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2000-G377
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000353616; http://id.ndl.go.jp/bib/000000353616
• 整理区分コード: 213

目次

目次

第1章.序論

1.1.X線発光分析による定量分析

1.2.シリサイド(silicide)

1.3.silicide/Si接合系試料の定量分析