低温成長多結晶シリコン薄膜の構造制御とキャリア輸送特性

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: 低温成長多結晶シリコン薄膜の構造制御とキャリア輸送特性
• タイトルよみ: テイオン セイチョウ タケッショウ シリコン ハクマク ノ コウゾウ セイギョ ト キャリア ユソウ トクセイ
• 著者・編者: 中畑浩一 [著]
• 著者標目: 中畑, 浩一 ナカハタ, コウイチ
• 出版事項: [中畑浩一]
• 出版年月日等: [2000]
• 出版年（W3CDTF）: 2000
• 数量: 1冊
• 授与機関名: 東京工業大学
• 授与年月日: 平成12年3月26日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2000
• 報告番号: 甲第4393号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2000-R345
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000393082; http://id.ndl.go.jp/bib/000000393082
• 整理区分コード: 213

目次

論文目録

目次

第1章 序論

1-1 研究背景

1-2 多結晶シリコン薄膜の必要性