化学増幅型レジストを用いた極微細パターン形成に関する研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: 化学増幅型レジストを用いた極微細パターン形成に関する研究
• タイトルよみ: カガク ゾウフクガタ レジスト オ モチイタ ゴクビサイ パターン ケイセイ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 佐藤功 [著]
• 著者標目: 佐藤, 功 サトウ, イサオ
• 出版事項: [佐藤功]
• 出版年月日等: 2000
• 出版年（W3CDTF）: 2000
• 数量: 1冊
• 授与機関名: 北海道大学
• 授与年月日: 平成12年12月25日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2000
• 報告番号: 乙第5715号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2001-A20
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000395108; http://id.ndl.go.jp/bib/000000395108
• 整理区分コード: 213

目次

目次

第1章 序論

1.1 本研究の背景

1.2 従来技術の課題と本研究の目的

1.3 本論文の構成