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低エネルギーイオン照射によるMgO(001)表面からのイオンスパッタリングメカニズム

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低エネルギーイオン照射によるMgO(001)表面からのイオンスパッタリングメカニズム

国立国会図書館請求記号
UT51-2001-B341
国立国会図書館書誌ID
000000396722
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3179994
資料種別
博士論文
著者
佐藤崇文 [著]
出版者
[佐藤崇文]
出版年
[2001]
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
東邦大学,博士 (理学)
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目次

  • 論文要旨

  • 目次

  • 第一章 序論

    p1

  • 1.1.はじめに

    p1

  • 1.2.ESDの研究

    p4

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書誌情報

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デジタル

資料種別
博士論文
タイトルよみ
テイエネルギー イオン ショウシャ ニ ヨル MgO ( 001 ) ヒョウメン カラ ノ イオン スパッタリング メカニズム
著者・編者
佐藤崇文 [著]
著者標目
佐藤, 崇文 サトウ, タカフミ
出版事項
出版年月日等
[2001]
出版年(W3CDTF)
2001
数量
1冊
授与機関名
東邦大学