スピンコーティングによる薄膜形成過程

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: スピンコーティングによる薄膜形成過程
• タイトルよみ: スピンコーティング ニ ヨル ハクマク ケイセイ カテイ
• 著者・編者: 北村哲浩 [著]
• 著者標目: 北村, 哲浩 キタムラ, アキヒロ
• 出版事項: [北村哲浩]
• 出版年月日等: [2001]
• 出版年（W3CDTF）: 2001
• 数量: 1冊
• 授与機関名: 慶應義塾大学
• 授与年月日: 平成13年2月7日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2001
• 報告番号: 乙第3442号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2001-F647
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000400714; http://id.ndl.go.jp/bib/000000400714
• 整理区分コード: 213

目次

論文目録

目次

第1章 緒論

1.1 スピンコーティングの概要

1.2 従来の研究