Microvibration Control System for Hi-tech Manufacturing Facilities

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Microvibration Control System for Hi-tech Manufacturing Facilities
• 著者・編者: Hirokazu Yoshioka [著]
• 著者標目: 吉岡, 宏和 ヨシオカ, ヒロカズ
• 出版事項: [Hirokazu Yoshioka]
• 出版年月日等: 2000
• 出版年（W3CDTF）: 2000
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: 先端技術関連製造施設に対する微振動制御システム センタン ギジュツ カンレン セイゾウ シセツ ニ タイスル ビシンドウ セイギョ システム
• 授与機関名: 大阪大学
• 授与年月日: 平成13年1月29日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2001
• 報告番号: 乙第8179号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2001-G558
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000402537; http://id.ndl.go.jp/bib/000000402537
• 整理区分コード: 213

目次

Contents

1.Introduction

1.1.Vibration Problems for Hi-tech Manufacturing Facilities

1.2.Previous Works

1.3.Outline of the Thesis