博士論文

高濃度ボロン添加ならびに大口径CZ-Si結晶の欠陥形成に関する研究

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高濃度ボロン添加ならびに大口径CZ-Si結晶の欠陥形成に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2001-M798
国立国会図書館書誌ID
000000407955
資料種別
博士論文
著者
小野敏昭 [著]
出版者
[小野敏昭]
出版年
2001
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
大阪大学,博士 (工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
コウノウド ボロン テンカ ナラビニ ダイコウケイ CZ - Si ケッショウ ノ ケッカン ケイセイ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
小野敏昭 [著]
著者標目
小野, 敏昭 オノ, トシアキ
出版事項
出版年月日等
2001
出版年(W3CDTF)
2001
数量
1冊
授与機関名
大阪大学