RF-分子線エピタキシー法による窒化物半導体成長における原子状水素の諸効果の検討
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
第1章 序論
p1
第2章 研究の背景と目的
p2
2.1.III族窒化物半導体の諸特性
p3
2.2.III族窒化物半導体研究の歴史と背景
p6
2.3.水素の有効性に関する研究
p14
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- RF - ブンシセン エピタキシーホウ ニ ヨル チッカブツ ハンドウタイ セイチョウ ニ オケル ゲンシジョウ スイソ ノ ショ コウカ ノ ケントウ
- 著者・編者
- 岡本吉弘 [著]
- 著者標目
- 岡本, 吉弘 オカモト, ヨシヒロ
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2000
- 出版年（W3CDTF）
- 2000
- 数量
- 1冊
- 授与機関名
- 筑波大学