高濃度不純物添加シリコン結晶中の酸素原子の拡散及び析出に関する研究
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目次
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【目次】
p1
第1章 序論
p1
1.1 Si結晶中の酸素原子とドーパント
p1
1.2 酸素原子の拡散係数
p5
1.3 酸素の析出機構
p13
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- コウノウド フジュンブツ テンカ シリコン ケッショウ チュウ ノ サンソ ゲンシ ノ カクサン オヨビ セキシュツ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 竹野博 [著]
- 著者標目
- 竹野, 博 タケノ, ヒロシ
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2000
- 出版年（W3CDTF）
- 2000
- 数量
- 1冊
- 授与機関名
- 東北大学