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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
2002 INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON DRY PROCESS PROGRAM//1~6
Thursday, Octomber 10, 2002//~92
Session I Low-k/Cu//~44
I-1 <Invited Talk> Porous Low-k/Copper Integration/Takeshi Nogami ; Shingo Takahashi ; Kaori Tai ; Hiizu Ohtorii ; Naoki Komai ; Hiroshi Horikoshi ; Shuzo Sato ; Zenya Yasuda/1~8
I-2 Effect of Film Composition on SiOCH Etching/T. Tatsumi ; K. Nagahata ; K. Urata ; T. Saito ; M. Minami ; Y. Nogami ; S. Iseda ; Y. Morita/9~14
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書誌情報
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- 資料種別
- 雑誌
- 巻次・部編番号
- 2;2002
- 出版年月日等
- 2002
- 出版年(W3CDTF)
- 2002
- 出版表示等に関する注記
- Publisher: Institute of Electrical Engineers of Japan (1st-<6th>)
- 刊行巻次・年月次
- 1st (2001)-
- 大きさ
- 26-30cm