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(5) 2004年度
- 最適に回収されたスラリーを用いたタングステンCMPの評価
p.13~17
- 平坦化CMPにおけるパッドドレッシングに関する研究
p.19~26
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書誌情報
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- 資料種別
- 雑誌
- タイトル
- タイトルよみ
- サイタマ ダイガク チイキ キョウドウ ケンキュウ センター キヨウ
- 巻次・部編番号
- 5号 2004年度
- 著者標目
- 埼玉大学地域共同研究センター サイタマ ダイガク チイキ キョウドウ ケンキュウ センター ( 01035876 )典拠埼玉大学総合研究機構地域共同研究センター サイタマ ダイガク ソウゴウ ケンキュウ キコウ チイキ キョウドウ ケンキュウ センター ( 01170176 )典拠
- 出版年月日等
- 2004
- 出版年(W3CDTF)
- 2004
- 出版表示等に関する注記
- 出版地の変更あり8号の出版者: 埼玉大学総合研究機構地域共同研究センター産学連携推進部門
- 刊行巻次・年月次
- No. 1 (2000年度)-8号 (2007年度)
- 大きさ
- 30cm
- 並列タイトル等
- Report of Cooperative Research Center, Saitama University Report of Cooperative Research Center, Saitama UniversityReport of Cooperative Research Center, Saitama University
- その他のタイトル(キー・タイトル)
- Saitama Daigaku Chiiki Kyoudou Kenkyuu Senta kiyou
- その他のタイトル
- 埼玉大学地域共同研究センター共同研究成果報告書 サイタマ ダイガク チイキ キョウドウ ケンキュウ センター キョウドウ ケンキュウ セイカ ホウコクショ
- ISSN(掲載誌)
- 1347-4758
- ISSN-L(掲載誌)
- 1347-4758
- 出版地(国名コード)
- JP
- 本文の言語コード
- jpneng
- NDLC
- 改題等に関する注記
- 継続前誌: 埼玉大学地域共同研究センター共同研究成果報告書
- 所蔵機関
- 国立国会図書館
- 請求記号
- Z74-C975
- 関連情報
- 関連資料 : 埼玉大学地域オープンイノベーションセンター紀要 (ISSN:1883-8278)
- 連携機関・データベース
- 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
- 書誌ID(NDLBibID)
- 000000412725
- 目録規則
- 日本目録規則1987年版改訂版