Molecular adsorbates on the Si surfaces : Initial stages of carbonization and oxidation

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Molecular adsorbates on the Si surfaces : Initial stages of carbonization and oxidation
• 著者・編者: 松井文彦 [著]
• 著者標目: 松井, 文彦 マツイ, フミヒコ
• 出版事項: [松井文彦]
• 出版年月日等: [2000]
• 出版年（W3CDTF）: 2000
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: シリコン表面の炭化及び酸化初期過程における分子性吸着種の挙動 シリコン ヒョウメン ノ タンカ オヨビ サンカ ショキ カテイ ニ オケル ブンシセイ キュウチャクシュ ノ キョドウ
• 授与機関名: 東京大学
• 授与年月日: 平成12年3月29日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2000
• 報告番号: 甲第15021号
• 学位: 博士 (理学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2001-Q375
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000413262; http://id.ndl.go.jp/bib/000000413262
• 整理区分コード: 213

目次

Contents

Preface

I Introduction and Experimental Details

1 Introduction:Carbon and Oxygen on Silicon Surfaces

2 Experimental Details:Methods and Measurements