シリコン表面上の単原子・単分子層ヘテロ膜の成長と欠陥導入機構の実空間顕微法による研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: シリコン表面上の単原子・単分子層ヘテロ膜の成長と欠陥導入機構の実空間顕微法による研究
• タイトルよみ: シリコン ヒョウメン ジョウ ノ タンゲンシ タンブンシソウ ヘテロマク ノ セイチョウ ト ケッカン ドウニュウ キコウ ノ ジツクウカン ケンビホウ ニ ヨル ケンキュウ
• 著者・編者: 中山知信 [著]
• 著者標目: 中山, 知信 ナカヤマ, トモノブ
• 出版事項: [中山知信]
• 出版年月日等: [1999]
• 出版年（W3CDTF）: 1999
• 数量: 1冊
• 授与機関名: 東京大学
• 授与年月日: 平成11年5月17日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1999
• 報告番号: 乙第14335号
• 学位: 博士 (理学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2001-R65
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000413751; http://id.ndl.go.jp/bib/000000413751
• 整理区分コード: 213

目次

目次

第1章 序論

1-1.はじめに

1-2.従来の研究

1-3.本論文の目的と概要