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X線透視法によるシリコン単結晶育成時における融液内熱物質輸送の研究

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X線透視法によるシリコン単結晶育成時における融液内熱物質輸送の研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2001-R119
国立国会図書館書誌ID
000000413872
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3190766
資料種別
博士論文
著者
渡邉匡人 [著]
出版者
[渡邉匡人]
出版年
[1999]
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
東京大学,博士 (工学)
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目次

  • 目次

    p1

  • 第1章 序論

    p1

  • 1.1 本研究の背景と目的

    p1

  • 1.2 本論文の構成

    p5

  • 第1章の参考文献

    p9

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書誌情報

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デジタル

資料種別
博士論文
タイトルよみ
Xセン トウシホウ ニ ヨル シリコン タンケッショウ イクセイジ ニ オケル ユウエキ ナイ ネツ ブッシツ ユソウ ノ ケンキュウ
著者・編者
渡邉匡人 [著]
著者標目
渡邉, 匡人 ワタナベ, マサヒト
出版事項
出版年月日等
[1999]
出版年(W3CDTF)
1999
数量
1冊
授与機関名
東京大学