X線透視法によるシリコン単結晶育成時における融液内熱物質輸送の研究
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p1
第1章 序論
p1
1.1 本研究の背景と目的
p1
1.2 本論文の構成
p5
第1章の参考文献
p9
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- Xセン トウシホウ ニ ヨル シリコン タンケッショウ イクセイジ ニ オケル ユウエキ ナイ ネツ ブッシツ ユソウ ノ ケンキュウ
- 著者・編者
- 渡邉匡人 [著]
- 著者標目
- 渡邉, 匡人 ワタナベ, マサヒト
- 出版事項
- 出版年月日等
- [1999]
- 出版年（W3CDTF）
- 1999
- 数量
- 1冊
- 授与機関名
- 東京大学