真空技術講座. 第10

• 資料種別: 図書
• タイトル: 真空技術講座
• タイトルよみ: シンクウ ギジュツ コウザ
• 巻次・部編番号: 第10
• 出版事項: 東京 : 日刊工業新聞社
• 出版年月日等: 1965
• 出版年（W3CDTF）: 1965
• 数量: 334p
• 大きさ: 22cm
• その他のタイトル: 真空蒸着 シンクウ ジョウチャク
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 真空工学 シンクウコウガク ( 00571070 )典拠; 真空蒸着 シンクウジョウチャク ( 00565927 )典拠
• NDC: 423.88
• 対象利用者: 一般
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: 423.88-Si4712
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000911891; http://id.ndl.go.jp/bib/000000911891
• 全国書誌番号: 53015959
• 目録規則: 日本目録規則1942年版、1952年版、1965年版
• 整理区分コード: 111

• DOI: 10.11501/1373668; https://doi.org/10.11501/1373668
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/1373668; https://dl.ndl.go.jp/pid/1373668
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（障害者向け資料：レベル2）: プレーンテキスト
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 図書; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00001
• 製作者: 国立国会図書館
• 製作年（W3CDTF）: 2011-03-31
• 受理日（W3CDTF）: 2011-04-21T20:55:32+09:00
• 記録形式（IMT）: image/jp2
• オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
• デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象
• 遠隔複写可否（NDL）: 可
• 請求記号: 423.88-Si4712
• 原資料（JPNO）: 53015959
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• 内容細目: 真空蒸着 / 沢木司 著（提供元: 国立国会図書館蔵書）

目次

目次

序文

1． 真空中における蒸発と凝結

2． 真空蒸着装置

3． 基板の表面処理