窒化物系誘電体膜に関する総合研究
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近畿
兵庫県立図書館
紙- 請求記号：
- ５４９／４６
- 図書登録番号：
- 101154110
その他
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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトル
- タイトルよみ
- チッカブツケイ ユウデンタイマク ニ カンスル ソウゴウ ケンキュウ
- 著者標目
- 科学技術庁研究調整局 カガク ギジュツチョウ ケンキュウ チョウセイキョク ( 00285395 )典拠
- 出版年月日等
- 1979.7
- 出版年（W3CDTF）
- 1979
- 数量
- 136p
- 大きさ
- 26cm
- 出版地（国名コード）
- JP