半導体集積回路プロセスに対するプラズマの応用
図書館・個人送信サービスを利用する
収録元データベースで確認する
国立国会図書館デジタルコレクション
国立国会図書館の登録利用者（本登録）の方を対象とした、個人送信サービスで閲覧可能です。ただし、日本国外に居住している場合は、個人送信サービスを利用できません。
書店で探す
書店で探す
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ハンドウタイ シュウセキ カイロ プロセス ニ タイスル プラズマ ノ オウヨウ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [1980]
- 出版年（W3CDTF）
- 1980
- 数量
- 121p
- 大きさ
- 25cm
- その他のタイトル
- 研究種目 総合研究(A)
- 出版地（国名コード）
- JP