入門真空・薄膜・スパッタリング
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北日本
秋田県立図書館
紙- 請求記号：
- 534.9/ｽﾆ/
- 図書登録番号：
- 110262094
関東
千葉県立中央図書館
紙- 請求記号：
- 534/SU12/
- 図書登録番号：
- 9103411045
東京都立中央図書館
紙- 請求記号：
- 5349-18-85
- 図書登録番号：
- 1120118521
神奈川県立川崎図書館
紙- 請求記号：
- 534.9-S6
- 図書登録番号：
- 71111447
東海・北陸
名古屋市図書館
紙- 請求記号：
- 53493/ﾓ/
- 図書登録番号：
- 0230234072
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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- ISBN
- 4-7655-0358-5
- タイトル
- タイトルよみ
- ニュウモン シンクウ ハクマク スパッタリング
- 著者・編者
- R.V.Stuart 著毛利衛, 数坂昭夫 共訳
- 著者標目
- 毛利, 衛, 1948- モウリ, マモル, 1948- ( 00153459 )典拠数坂, 昭夫, 1940- カズサカ, アキオ, 1940- ( 00153126 )典拠
- 出版事項
- 出版年月日等
- 1985.10
- 出版年（W3CDTF）
- 1985
- 数量
- 145p