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ユーザーのための実用オージェ電子分光法

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ユーザーのための実用オージェ電子分光法

国立国会図書館請求記号
PA128-E4
国立国会図書館書誌ID
000001989644
資料種別
図書
著者
志水隆一, 吉原一紘 編
出版者
共立出版
出版年
1989.6
資料形態
ページ数・大きさ等
240p ; 22cm
NDC
433.5
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資料に関する注記

一般注記:

執筆: 東裕子ほか

資料詳細

要約等:

マイクロエレクトロニクス産業をはじめ新しい応用分野でオージェ分析に携わる技術者に、分析装置の的確かつ効率良い使い方を解説した手引書。(提供元: 出版情報登録センター(JPRO))

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目次

  • 第1章 オージェ電子分光法の歴史

  • 第2章 オージェ電子分光法の原理

  • 第3章 測定機器の原理と構造

  • 第4章 測定法

  • 第5章 定性分析

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書誌情報

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資料種別
図書
ISBN
4-320-04224-7
タイトルよみ
ユーザー ノ タメノ ジツヨウ オージェ デンシ ブンコウホウ
著者・編者
志水隆一, 吉原一紘 編
著者標目
志水, 隆一, 1937- シミズ, リュウイチ, 1937- ( 00189990 )典拠
吉原, 一紘 ヨシハラ, カズヒロ ( 00189809 )典拠
出版年月日等
1989.6
出版年(W3CDTF)
1989
数量
240p