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超純水の科学 (Surface science technology ; 1)

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超純水の科学(Surface science technology ; 1)

国立国会図書館請求記号
ND371-E82
国立国会図書館書誌ID
000002099463
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/13649503
資料種別
図書
著者
半導体基盤技術研究会 編
出版者
リアライズ社
出版年
1990.9
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
890p ; 27cm
NDC
549.8
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資料に関する注記

一般注記:

監修: 大見忠弘ほか

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書誌情報

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デジタル

資料種別
図書
ISBN
4-947655-41-0
タイトル
タイトルよみ
チョウジュンスイ ノ カガク
著者・編者
半導体基盤技術研究会 編
シリーズタイトル
著者標目
半導体基盤技術研究会 ハンドウタイ キバン ギジュツ ケンキュウカイ ( 00264648 )典拠
出版年月日等
1990.9
出版年(W3CDTF)
1990