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ここまできたイオン注入技術 : 超LSIプロセスのリード役 (K books series ; 79)

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ここまできたイオン注入技術 : 超LSIプロセスのリード役

(K books series ; 79)

国立国会図書館請求記号
ND371-E104
国立国会図書館書誌ID
000002156293
資料種別
図書
著者
布施玄秀, 平尾孝 編著
出版者
工業調査会
出版年
1991.6
資料形態
ページ数・大きさ等
182p ; 19cm
NDC
549.8
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書誌情報

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資料種別
図書
ISBN
4-7693-6080-0
タイトルよみ
ココマデ キタ イオン チュウニュウ ギジュツ
著者・編者
布施玄秀, 平尾孝 編著
シリーズタイトル
著者標目
布施, 玄秀, 1951- フセ, ゲンシュウ, 1951- ( 00215688 )典拠
平尾, 孝, 1940- ヒラオ, タカシ, 1940- ( 00215636 )典拠
出版年月日等
1991.6
出版年(W3CDTF)
1991