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シリコン熱酸化膜とその界面 : 基礎物性から超LSIへの応用まで

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シリコン熱酸化膜とその界面 : 基礎物性から超LSIへの応用まで

国立国会図書館請求記号
ND371-E137
国立国会図書館書誌ID
000002232841
資料種別
図書
著者
谷口研二 [編]
出版者
リアライズ社
出版年
1991.7
資料形態
ページ数・大きさ等
422p ; 27cm
NDC
549.8
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書誌情報

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資料種別
図書
ISBN
4-947655-44-5
タイトルよみ
シリコン ネツ サンカ マク ト ソノ カイメン
著者・編者
谷口研二 [編]
著者標目
谷口, 研二, 1948- タニクチ, ケンジ, 1948- ( 00176969 )典拠
出版年月日等
1991.7
出版年(W3CDTF)
1991
数量
422p