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半導体・液晶用使用済み薬品再生回収技術 : Proceeding (超LSIウルトラクリーンテクノロジーワークショップ ; 第23回)

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半導体・液晶用使用済み薬品再生回収技術 : Proceeding

(超LSIウルトラクリーンテクノロジーワークショップ ; 第23回)

国立国会図書館請求記号
ND371-E172
国立国会図書館書誌ID
000002291724
資料種別
図書
著者
UCS半導体基盤技術研究会 編
出版者
UCS半導体基盤技術研究会
出版年
1993.3
資料形態
ページ数・大きさ等
71p ; 30cm
NDC
549.8
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資料に関する注記

一般注記:

英語書名: Technology to recover and regenerate chemicals drained from semiconductor and liquid crystal device manufacturing process 英文併記期日・会場: 1993年3月13日 ...

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ハンドウタイ エキショウヨウ シヨウズミ ヤクヒン サイセイ カイシュウ ギジュツ
著者・編者
UCS半導体基盤技術研究会 編
著者標目
半導体基盤技術研究会 ハンドウタイ キバン ギジュツ ケンキュウカイ ( 00264648 )典拠
出版年月日等
1993.3
出版年(W3CDTF)
1993
数量
71p