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半導体の結晶欠陥制御の科学と技術 シリコン編

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半導体の結晶欠陥制御の科学と技術. シリコン編

国立国会図書館請求記号
ND371-E180
国立国会図書館書誌ID
000002293254
資料種別
図書
著者
角野, 浩二, 1931-
出版者
サイエンスフォーラム
出版年
1993.6
資料形態
ページ数・大きさ等
365p ; 31cm
NDC
549.8
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監修: 角野浩二

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資料種別
図書
タイトルよみ
ハンドウタイ ノ ケッショウ ケッカン セイギョ ノ カガク ト ギジュツ
巻次・部編番号
シリコン編
著者標目
角野, 浩二, 1931- スミノ, コウジ, 1931- ( 00332219 )典拠
出版年月日等
1993.6
出版年(W3CDTF)
1993
数量
365p
大きさ
31cm